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微型動態(tài)壓力傳感器-詳細(xì)介紹

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微型動態(tài)壓力傳感器

 

產(chǎn)品簡介:

微型壓力傳感器是專門為流體力學(xué)實驗要求非常小的安裝尺寸而設(shè)計的,它利用硅–硅鍵合MEMS 微機械加工技術(shù)使得集成硅膜片有效尺寸小,固有響應(yīng)頻率高,彈性力學(xué)特性優(yōu)良,穩(wěn)定可靠,對流場影響小,精度高于壓電動態(tài)壓力傳感器,成為動壓測試中壓電壓力傳感器的換代產(chǎn)品,各國軍標(biāo)在爆轟動態(tài)、空氣動力學(xué)測量標(biāo)準(zhǔn)中都推薦首選本類壓力傳感器;可生產(chǎn)探針形、扁平薄餅形(1.5-4mm);提供定制服務(wù)。

產(chǎn)品用途:

軍事工程、發(fā)動機進(jìn)氣道、化爆試驗、風(fēng)洞、材料、流體力學(xué)、聲學(xué)、土木工程學(xué)、巖土力學(xué)、
創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)、石油勘采與試井、液壓動力機械試驗、縮模實驗等科學(xué)試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中。

性能指標(biāo):

被測介質(zhì) 對硅、不銹鋼、環(huán)氧樹脂膠不腐蝕的氣體和液體
壓力類型 絕對壓力、密封參考壓力、通氣表壓力
量程 -100kPa ~ 0 ~ 10kPa ~ 1MPa ~ 10MPa…100MPa 之間任意可選
供電電源 0.5-2.0mA 或 5-12VDC
輸出信號 100mV (典型值)
變送器輸出 供電: 24VDC ( ±15VDC ),輸出: 0-5VDC 、 4-20mA 可選
非線性 0.1% FS 、 0.2% FS 、 0.5% FS
重復(fù)性 0.05%FS
綜合精度 ±0.2%FS 、 0.5%FS
長期穩(wěn)定性 0.2%FS/ 年
工作溫度 -40 ~ 125℃ (高溫型加裝水冷式結(jié)構(gòu) , 耐高溫 500℃ )
響應(yīng)頻率 5kHz…50kHz…500kHz
輸入阻抗 5kΩ
絕緣電阻 > 500 MΩ/100VDC
安全過載壓力 200%FS ( 2 倍滿量程)
破壞壓力 500%FS ( 5 倍滿量程)
連接方式 M3 、 M4 、 M5 、 M6 、 M10 或指定
接液材料 硅、不銹鋼、氟橡膠
相對濕度 0 ~ 95% RH
外殼防護(hù)等級 IP65
出線方式 航插、 直接密封引線


選型信息:

型號:NZ-S111A…
微型傳感器,平膜片背面受壓結(jié)構(gòu),壓力響應(yīng)速度更快,固有頻率500kHz,不影響流場;螺紋固定密封壓力,測量最高壓力10MPa,可用于水,氣體等的測量。

 

微型動態(tài)壓力傳感器

 

型號:NZ-S107A…
微型微壓傳感器,島膜結(jié)構(gòu),采用膜片內(nèi)置方式,尺寸更小,有效保護(hù)膜片在運輸和安裝過程中的人為損壞,壓力響應(yīng)速度快,不影響流場;螺紋固定密封壓力,測量最高3.5MPa 的壓力。

 

微型動態(tài)壓力傳感器

 

型號:NZ-S114A…
微型高壓傳感器,MEMS封裝,壓力響應(yīng)速度快,固有頻率500kHz;螺紋固定密封壓力,可用于最高60MPa的液體、氣體壓力動靜態(tài)測量。

 

微型動態(tài)壓力傳感器

 

型號:NZ-S103;NZ-S206A…
超微型傳感器,硅硅鍵合技術(shù),MEMS 封裝,壓力響應(yīng)速度快,固有頻率200kHz;探針置入式安裝,主要為氣道、風(fēng)道測量,創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)、空氣動力學(xué)設(shè)計。

 

微型動態(tài)壓力傳感器

 

薄餅形壓力傳感器 型號請見下圖:
超薄型設(shè)計,硅硅鍵合技術(shù),MEMS 封裝,壓力響應(yīng)速度快,固有頻率200kHz;粘貼式式安裝,主要為氣道、風(fēng)道測量,空氣動力學(xué)設(shè)計、土壓等設(shè)計。

 

微型動態(tài)壓力傳感器

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