分子真空泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子。使之壓縮、排氣的一種真空泵。有如下3中形式。1)牽引分子泵,高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子表面與氣體分子相碰,把動量傳給氣體分子,將氣體分子拖動到真空泵的出口排出。因此,他是一種動力傳輸泵。2)渦輪分子真空泵,真空泵內(nèi)裝有多級帶槽的圓盤或葉片的轉(zhuǎn)子,在定子圓盤間旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子的元周線速度很高,通常在分子流狀態(tài)下工作。3)復合式分子真空泵,它是由渦輪分子真空泵和牽引分子真空泵優(yōu)化組合,串聯(lián)起來工作的一種佛山真空泵,可在分子流或過度流狀態(tài)下工作。